Sisällysluettelo:
Määritelmä - Mitä nanolitografia tarkoittaa?
Nanolitografia on nanoteknologian haara ja prosessin nimi kuvioiden leimaamiseen, kirjoittamiseen tai syövyttämiseen mikroskooppisella tasolla uskomattoman pienten rakenteiden luomiseksi. Tätä prosessia käytetään tyypillisesti pienempien ja nopeampien elektronisten laitteiden, kuten mikro / nanosirun ja prosessorin, luomiseen. Nanolitografiaa käytetään pääasiassa tekniikan eri aloilla elektronisesta lääketieteelliseen.Techopedia selittää nanolitografian
Nanolitografia on laaja termi, jota käytetään kuvaamaan erilaisia prosesseja nanomittakaavan kuvioiden luomiseksi erilaisille väliaineille, joista yleisimpiä on puolijohdemateriaali pii. Nanolitografian päätarkoitus on elektronisten laitteiden kutistuminen, joka mahdollistaa enemmän elektronisten osien kokoamisen pienempiin tiloihin, ts. Pienempiin integroituihin piireihin, jotka johtavat pienempiin laitteisiin, joiden valmistus on nopeampaa ja halvempaa, koska tarvitaan vähemmän materiaaleja. Tämä lisää myös suorituskykyä ja vasteaikoja, koska elektronien on kuljettava vain hyvin lyhyitä matkoja.
Jotkut nanolitografiassa käytetyt tekniikat ovat seuraavat:
- Röntgen-litografia - Toteutetaan lähestymistavalla ja perustuu Fresnel-diffraktiossa lähikentän röntgensäteisiin. On tunnettua laajentaa sen optinen resoluutio 15 nm: iin.
- Kaksinkertainen kuviointi - menetelmä, jota käytetään lisäämään litografisen prosessin äänenkorkeuden erottelukykyä tulostamalla lisäkuvioita jo kerralla tulostettujen kuvioiden välille samassa kerroksessa.
- Elektronisuihkun suora kirjoitus (EBDW) litografia - Yleisin litografiassa käytetty prosessi, jossa elektronien säde luo kuvioita.
- Äärimmäinen ultravioletti (EUV) litografia - Muoto optisesta litografiasta, joka käyttää ultra lyhyen valon aallonpituuksia 13, 5 nm.
